高面形精度的超光滑表面制造直接面向現代光學(xué)技術(shù)和精密電子領(lǐng)域的應用需求，是現代超精密加工技術(shù)的重要組成部分。尤其是近年來(lái)，隨著(zhù)高能激光、極紫外光學(xué)技術(shù)的發(fā)展，對光學(xué)元件光譜特性、損傷閾值以及散射損耗等不斷提出越來(lái)越苛刻的要求，更加促進(jìn)了高精度的超光滑表面加工技術(shù)的工藝研發(fā)進(jìn)程。

本課題組在高功率激光的應用背景下，專(zhuān)門(mén)開(kāi)展了這方面的特色研究工作，借助已研發(fā)成熟的工藝手段，可實(shí)現如下技術(shù)指標：

（1）基底材料：?jiǎn)尉Ч?、石英等?

（2）光學(xué)元件口徑：≤300mm；

（3）加工面形精度：PV 優(yōu)于60nm；

（4）表面粗糙度：RMS 優(yōu)于0.2nm；

（5）表面光潔度水平：10-5。