隨著(zhù)現代光學(xué)技術(shù)的不斷成熟和進(jìn)步，光學(xué)系統越來(lái)越復雜。一方面，帶孔的光學(xué)元件在現代光學(xué)系統中越來(lái)越發(fā)揮著(zhù)著(zhù)獨特作用，例如激光諧振腔的輸出刮刀鏡（通常是橢圓孔）、中大型反射式系統的主次鏡芯孔（常見(jiàn)階梯孔）以及特殊用途的光學(xué)元件準直孔（一般孔徑比較?。┑?。另一方面，受特殊通光孔徑的限制，各種異形的光學(xué)元件從常規的圓形光學(xué)元件到橢圓形、八邊形光學(xué)元件，甚至三角形、星形光學(xué)元件等層出不窮。這類(lèi)元件材質(zhì)通常是單晶硅、石英以及玻璃類(lèi)的硬脆材料，在進(jìn)行通孔、盲孔以及特殊外輪廓的加工時(shí)，面臨一定的工藝難題，具體有：

（1）孔/邊周?chē)谋肋呺y以處理；

（2）由于工藝所限，孔徑、孔定位和孔的軸線(xiàn)公差控制難度高；

（3）異形輪廓邊的光學(xué)元件尺寸精度難以保證；

（4）有孔材料和特殊輪廓邊的光學(xué)元件，特別是異形孔和異形輪廓邊光學(xué)元件的后續拋光工藝更加復雜，面形精度和表面質(zhì)量控制困難。

本課題組在特殊應用背景下，開(kāi)發(fā)了特殊工藝，可實(shí)現各種異形孔以及異形輪廓光學(xué)元件的加工任務(wù)，同時(shí)保證光學(xué)元件極高的面形精度、表面粗糙度和表面光潔度水平。