該成果解決了潔凈真空獲得系統與集成電路制造工藝的優(yōu)化組合、理論型線(xiàn)設計與多種轉子形式的組合、密封結構和振動(dòng)/噪聲抑制技術(shù)、表面防腐技術(shù)、控制/反饋軟件與通用控制接口結合、電機與驅動(dòng)系統設計等關(guān)鍵技術(shù)，具有完全自主知識產(chǎn)權，可應用于標準/中度腐蝕/強度腐蝕等各種工藝環(huán)境，技術(shù)水平達到國際先進(jìn)水平。產(chǎn)品具有啟動(dòng)快、抽速大、壽命長(cháng)、能耗低、無(wú)污染、操作簡(jiǎn)便、自動(dòng)控制、可高溫運行、遠程監控、可靠性高等特點(diǎn)，可廣泛應用于集成電路、太陽(yáng)能光伏、LED等新興領(lǐng)域以及石油化工、生物制藥等工業(yè)領(lǐng)域。