渦旋干式真空泵是一種真正意義上的清潔無(wú)油、高效率的真空獲得設備，主要應用于集成電路、半導體、醫療、生物制藥、食品等領(lǐng)域，解決了真空儀器設備的油污染問(wèn)題，成為了世界上發(fā)展最快的泵種之一。沈陽(yáng)科儀公司攻克了渦旋型線(xiàn)修正、渦旋盤(pán)加工工藝、泵表面處理方法、密封材料、間隙與極限真空關(guān)系研究等技術(shù)難題，研制開(kāi)發(fā)了具有自主知識產(chǎn)權的渦旋干式真空泵，技術(shù)指標達到了國際同類(lèi)產(chǎn)品水平。該成果不僅實(shí)現了替代進(jìn)口，創(chuàng )造可觀(guān)的經(jīng)濟效益和社會(huì )效益，同時(shí)對改善國內供需不平衡，打破壟斷，發(fā)展民族裝備制造業(yè)等也將起到積極作用。