薄膜沉積工藝是機械生產(chǎn)中在刀具材料上沉積一層難熔金屬化合物，從而提高了刀具表面硬度、耐摩擦性、耐腐蝕性、耐熱耐氧化性，又保留了基體良好的抗彎強度和韌性。因此發(fā)展薄膜沉積工藝，可以有效節約材料，降低能耗，并減輕對環(huán)境的污染，實(shí)現機械加工過(guò)程的綠色化。

我國工業(yè)上使用的超硬薄膜裝置，無(wú)論是磁控濺射裝置還是陰極弧裝置，主要是從國外進(jìn)口的設備或使用國外的技術(shù)，而且生產(chǎn)中原有的技術(shù)裝備已經(jīng)不能滿(mǎn)足工業(yè)上日益提高的要求，亟需進(jìn)行更新?lián)Q代。中國科學(xué)院物理所瞄準國際薄膜沉積技術(shù)的先進(jìn)水平，經(jīng)過(guò)多年研究積累，現已發(fā)展具有自主知識產(chǎn)權的超硬薄膜沉積技術(shù)，并獨立開(kāi)發(fā)研制了真空陰極弧薄膜沉積設備。該裝置同時(shí)具有陰極弧金屬離子源和輝光放電氣體離子源，采用離子注入和沉積相結合的材料表面改性新技術(shù)。

其創(chuàng )新點(diǎn)在于：在膜和基體之間形成連續的混合層，使薄膜與基體的結合力大大增加；原子沉積和離子注入參數可以精確地獨立調節，分別選用不同的沉積和注入元素，可以合成多種不同組分和結構的膜；可在較低溫度下生長(cháng)各種薄膜，避免高溫處理對基體材料性能的不良影響。該研究成果擁有自主知識產(chǎn)權，處于業(yè)內領(lǐng)先水平。