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    科技成果

    Achivements

    超純氫氣純化和生產(chǎn)(>8N)—吸附劑技術(shù)

    來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2018-12-06

    電子信息、半導體、LED(Light Emitting Diode)照明和光伏發(fā)電產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展,促進(jìn)了對超純氫氣(純度>99.9999%)的強烈需求。但現有的超純氫氣主要通過(guò)昂貴的電解水技術(shù)進(jìn)行生產(chǎn),水電解設備和氫氣生產(chǎn)成本都很高,而且氫氣來(lái)源單一。為此,我們團隊自主研發(fā)了超純氫氣純化吸附劑新技術(shù)。

    超純氫氣純化吸附劑技術(shù)采用 催化氧化加吸附的工藝路線(xiàn),能用于脫除氫氣中的CxHy(x=1-30),CO, N2, O2, CO2 和H2O 等ppm 級雜質(zhì),將這些雜質(zhì)濃度均降到1 ppb 以下,滿(mǎn)足半導體及LED 生產(chǎn)等電子行業(yè)對超純氫(>8-9N)的需求。該工藝操作簡(jiǎn)單,吸附材料可反復再生,使用壽命長(cháng),另外可以使用工業(yè)副產(chǎn)氫、天然氣或氯堿氣等廉價(jià)氫源,跟電解水相比顯著(zhù)降低成本,適合用于規?;I(yè)生產(chǎn)。這項技術(shù)將來(lái)還能拓展到超純氮及超純氬等的生產(chǎn)中。

    該技術(shù)已經(jīng)申請國家專(zhuān)利。

    聯(lián)系方式:大連化學(xué)物理研究所 聯(lián)系人:知識產(chǎn)權與成果轉化處
    電話(huà):0411-84379752 郵箱:wdchen@dicp.ac.cn

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