主要技術(shù)特點(diǎn):該機采用i線(xiàn)紫外曝光光源,光學(xué)系統采用特殊的消衍射和線(xiàn)條E定直增強技術(shù),采用積木錯位繩眼透鏡實(shí)現高均勻照明,并配備了雙目雙視顯微鏡和CCD圖象對準系統(可同時(shí)使用) ,曝光能量高,聚光角度小,突具厚膠曝光功能,曝光設定采用微機控制,菜単界面友好,操作簡(jiǎn)便。
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