當一束激勵X射線(xiàn)照射到樣品上，鍍層和基底中的元素都放射出特征熒光X射線(xiàn)(XRF)。鍍層熒光X射線(xiàn)的強度隨鍍層厚度而增加；基底熒光X射線(xiàn)的強度隨鍍層厚度而降低。根據這類(lèi)關(guān)系，測定熒光X射線(xiàn)的強度,便可以計算出鍍層的厚度。普通XRF儀器的照射區域比較大,不適用于精微細小、形狀復雜的樣品。微區XRF儀器將微束X射線(xiàn)集中照射在很小的區域內(專(zhuān)利ZL94112117.8),采用激光定位技術(shù)(專(zhuān)利ZL97235392.5),能方便地選擇樣品上任意部位進(jìn)行精確測量。XRF微區鍍層測厚儀的國內市場(chǎng)需求量每年約300臺,（以每臺２０萬(wàn)計算，每年需求額約６０００萬(wàn)元），絕大部分來(lái)自三家外國公司(美國CMI公司，德國Fischer公司和日本精工舍公司)。中國科學(xué)院上海應用物理研究所凝聚其30多年從事X射線(xiàn)熒光(XRF)技術(shù)研究的經(jīng)驗，結合其近年來(lái)在微區分析領(lǐng)域取得的成果，于１９９４年研制成功XRF系列微區鍍層測厚儀，受到用戶(hù)好評。這項研究成果的目標是在鍍層質(zhì)量檢驗中，用我國高新科學(xué)技術(shù)，取代昂貴的進(jìn)口儀器。該項產(chǎn)品已通過(guò)國家技術(shù)監督局鑒定，性能指標達到進(jìn)口儀器的水平，它的價(jià)格只有進(jìn)口儀器的幾分之一，是一種比較先進(jìn)而實(shí)用的質(zhì)量檢驗儀器，適合于電子元件，精密機械，鐘表眼鏡，制筆工藝，珠寶首飾及其它電鍍行業(yè)推廣使用。