基于壓電效應設計的微驅動(dòng)器,具有控制精度高、響應速度快、功耗低、小型化等優(yōu)點(diǎn),在精密加工、光學(xué)儀器、半導體制造、自動(dòng)化控制等領(lǐng)域有著(zhù)廣泛的應用。當前這一領(lǐng)域所用的壓電材料多為鋯鈦酸鉛基陶瓷,隨著(zhù)人類(lèi)社會(huì )的發(fā)展,鉛基材料有被限制使用的趨勢。
中國科學(xué)院福建物質(zhì)結構研究所易志國課題組開(kāi)發(fā)出了一種高性能無(wú)鉛壓電陶瓷,不僅具有環(huán)境友好的特點(diǎn),而且室溫下其電致應變高達0.56%,大大超出鋯鈦酸鉛基陶瓷,該材料體系在微驅動(dòng)器件制造領(lǐng)域具有良好的應用前景。
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