通?；鹧嫠夥ㄉa(chǎn)二氧化硅采用氫氣與空氣燃燒形成的高溫與氯化物反應，在水蒸氣下水解形成產(chǎn)品，其副產(chǎn)品為HCl，處理工藝復雜，由于其反應為水解法，所得產(chǎn)品含有羥基也就是水，嚴格來(lái)講，水解法所得產(chǎn)品不能稱(chēng)之為二氧化硅（nSiO2·mH2O）,被稱(chēng)為白炭黑。

本工藝采用高頻感應氧等離子體作為具有氧化氣氛的熱源，與SiCl4氣體進(jìn)快速反應，氧等離子體與反應物在反應器內高溫生成產(chǎn)品與Cl2氣，所得產(chǎn)品因表面吸附微量氯氣，對粉體產(chǎn)品再進(jìn)行干法脫氯，Cl2氣經(jīng)吸收（堿液、石灰乳或鐵屑）產(chǎn)生副產(chǎn)品，廢氣（O2、N2）排空。本工藝是一種‘綠色’工藝流程。從國內外近十年的文獻查新還沒(méi)有發(fā)現有同類(lèi)的制備納米氧化硅粉體生產(chǎn)工藝技術(shù)。該工藝完全擁有自己的知識產(chǎn)權并具有創(chuàng )新性。